可靠性:即使在高氣體負載下也可靠且穩(wěn)定的工藝 - 有效的潤滑
堅固耐用:沒有污染的過程 - 油和空氣反吸保護
性能:長壽命無故障 - 驅(qū)動軸上的工業(yè)滾子軸承
放心:安心 - 經(jīng)過多年的努力,測試和行業(yè)標準
E2M175/275系列兩級油封旋片式真空泵以其極高的真空度,快速的抽速,安靜的操作和處理水蒸氣的能力而聞名。這些直接驅(qū)動旋片泵本質(zhì)上是緊湊和無振動的,它們的防指風(fēng)扇和聯(lián)軸器外殼提供了出色的操作員保護。該泵適用于大多數(shù)工作,在泵的正常運行參數(shù)范圍內(nèi)可安全處理不可燃氣體和蒸汽。
英國Edwards愛德華從1939年開始制造真空設(shè)備直到現(xiàn)在,產(chǎn)品是半導(dǎo)體、平板顯示器、LED 和太陽能電池的制造過程中不可缺少的部分,應(yīng)用于日益多范圍化的工業(yè)過程,包括電力、玻璃和其他涂層應(yīng)用、鋼和其他冶金、制藥和化學(xué);適用于科學(xué)儀器和許多研發(fā)應(yīng)用。Edwards的技術(shù)專長和應(yīng)用經(jīng)驗造就了創(chuàng)新型解決方案,可通過長期合作和伙伴關(guān)系幫助優(yōu)化制程。最大排量
50Hz電氣供應(yīng):292 m3h-1
60Hz電氣供應(yīng):350m3h-1
電機旋轉(zhuǎn)速度
50Hz電氣供應(yīng):1440r/min-1
50Hz電氣供應(yīng):1720r/min-1
終極真空
無氣 - 鎮(zhèn)流器(部分壓力):10-4mbar
無氣 - 鎮(zhèn)流器(全壓力):1×10-3 mbar
帶氣 - 鎮(zhèn)流器(部分壓力):5×10-3 mbar
最大允許出口壓力:0.5bar
操作溫度:12℃…40℃
儲存溫度:-30℃…+70℃
泵表面溫度(20℃環(huán)境溫度):50℃…70℃
最大濕度:90%RH
保護等級:IP55
重量:260kg