FMA-1600A系列質(zhì)量和體積流量計(jì)使用層流場內(nèi)的壓差原理來確定質(zhì)量流量。儀表內(nèi)的層流元件(LFE)迫使氣體進(jìn)入層流(流線型)。在該區(qū)域內(nèi),Poiseuille方程規(guī)定體積流量與壓降成線性關(guān)系。差壓傳感器用于測量沿LFE固定距離的壓降。這與氣體的粘度一起用于準(zhǔn)確確定體積流量。集成了獨(dú)立的溫度和壓力傳感器,并根據(jù)一組標(biāo)準(zhǔn)條件校正體積流量。
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