OX400是一款使用氧化鋯技術(shù)的低水平氧氣分析儀。氧化鋯傳感器采用薄膜沉積技術(shù),在氧化鋯元素和鉑層之間形成分子鍵,使傳感器更小,使用壽命更長(zhǎng)。OX400 可用于控制和監(jiān)控各種半導(dǎo)體應(yīng)用,以及控制環(huán)境、空氣泄漏到惰性氣體和其他過程。
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