PC30比例閥提供多功能性,以及對惰性氣體的流量和壓力控制。采用無摩擦的扁平彈簧銜鐵,在簡單、緊湊的結(jié)構(gòu)中實(shí)現(xiàn)了良好的可變流量特性和長壽命。提供高達(dá) 225 SLPM 的流量,標(biāo)準(zhǔn)孔尺寸從 0.156" 到 0.250" 直徑。有 12 和 24 伏直流電(5.8 瓦)可供選擇,其響應(yīng)時(shí)間為 5-8 毫秒和 10% 滯后。
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