SS 316L結(jié)構(gòu)
10 µin.表面處理(25 µin.可選)
真空至3500 psig(241 bar)入口
1至300 psig(0.07至21 bar)出口
清洗,組裝和包裝用于高純度半導體應用
流量
-標準至30 slpm
-HF選項為120 slpm
使用點應用的首選調(diào)節(jié)器
旋鈕LOTO
傳輸壓力:5至150 psig(0.34至10 bar)
耐壓:工作壓力的150%
爆破壓力:工作壓力的300%
流量系數(shù)(Cv):0.09(可選0.15 HF)
內(nèi)部容積:0.49 in3(8 cm3)
端口:2口對接焊
閥體,噴嘴:SS 316L
隔膜:SS 316L
涂層:電拋光和鈍化
閥座:PCTFE(可選聚酰亞胺和PTFE)
入口/出口連接:1/4英寸面密封,母接頭
舷內(nèi)泄漏:2 x 10-10 sccs
舷外泄漏:2 x 10-9 sccs He
座椅泄漏:4 x 10-8 sccs
安裝面或面板(可選)
工作溫度:-40°至+ 160°F(-40°至+ 71°C)