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BRONKHORST氣體流量計(jì)FF-M1x

產(chǎn)品介紹

FLEXI-FLOW緊湊型FF-M10和FF-M11緊湊型質(zhì)量流量/壓力計(jì)適用于在真空和17 bar(a)之間的工作壓力下測(cè)量0…500 mln/min和0…20 ln/min之間的流量范圍。該儀器結(jié)合了基于毛細(xì)管MEMS技術(shù)的快速穩(wěn)定的熱質(zhì)量流量傳感器和準(zhǔn)確可靠的旁路結(jié)構(gòu)。由于獨(dú)特的TCS技術(shù)(通過(guò)芯片傳感器),建立了與溫度和管路壓力變化無(wú)關(guān)的準(zhǔn)確質(zhì)量流量測(cè)量。結(jié)合集成的溫度和上下游壓力傳感器,22種氣體的嵌入式數(shù)據(jù)庫(kù)可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的車(chē)載轉(zhuǎn)換。多參數(shù)儀表為用戶(hù)提供有用的過(guò)程信息:

-型號(hào)FF-M10:流量+溫度

-型號(hào)FF-M11:流量+溫度+上下游壓力

性能特點(diǎn)

  • 緊湊型氣體質(zhì)量流量和壓力表
  • 集成氣體轉(zhuǎn)換模塊
  • 22種氣體嵌入
  • 多參數(shù)輸出:質(zhì)量流量、溫度和壓力
  • USB-C和藍(lán)牙通信
  • Namur NE107狀態(tài)指示

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:荷蘭

流量范圍(可用的中間范圍):min.0…500 mln/min

Max.0…20 ln/min(基于N2)

壓力范圍:FF-M10:不可用/FF-M11:0…17 bar(a)

精度(包括線(xiàn)性度)(基于實(shí)際校準(zhǔn)):高達(dá)±0,5%Rd plus±0,1%FS(N2/空氣/O2);

對(duì)于其他氣體,增加轉(zhuǎn)換不確定性;

重復(fù)性

流量傳感器:<±0,2%Rd;

壓力傳感器:<±0,2%FS

減速比:高達(dá)1:1000

工作壓力:max.16 bar g

22種獨(dú)特氣體以及這些氣體的任何混合物的多氣體/多量程嵌入式氣體數(shù)據(jù)

響應(yīng)時(shí)間(傳感器):<30 ms(T63)

3年內(nèi)長(zhǎng)期穩(wěn)定性:<0,5%FS;每年<0,2%FS

安裝:任何位置,姿態(tài)靈敏度可忽略不計(jì)

溫度傳感器靈敏度:zero 00015%FS/ºC;span 0,03%Rd/ºC;

壓力傳感器靈敏度:zero 0,16 mbar/ºC;span 0,05%Rd/ºC

溫度精度:±0,2ºC(儀器本體溫度)

壓力傳感器精度:±0,5%FS

壓力敏感度(標(biāo)準(zhǔn)):<0,15%Rd/bar,典型N2;

壓力校正:<0.02%Rd,典型N2

泄漏完整性,外側(cè)測(cè)試:<2 x 10-9 mbar l/s He

機(jī)械部分

儀表本體:鋁或不銹鋼(可選)

材料(接液部件):鋁、不銹鋼、氮化硅、環(huán)氧樹(shù)脂、氧化鋁、玻璃

表面質(zhì)量:<1.6μRa(不銹鋼閥體<0.8μRa)

壓力等級(jí)(PN):16 bar(g)/250 psig

工藝連接可選:壓縮式、推入式或端面密封聯(lián)軸器

密封件默認(rèn)值:FKM 51415;

其他材料:請(qǐng)聯(lián)系工廠

重量:200 g,鋁閥體,300 g,不銹鋼316閥體

防護(hù)等級(jí):IP40

電氣特性

電源:24 Vdc±10%

功耗:max.0,35 W

數(shù)字通信:Modbus RTU或FLOW-BUS(可選)

支持USB-C接口,便于設(shè)置;

用于監(jiān)控的可選藍(lán)牙連接

電氣連接:9針D-sub(公頭)


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