KLA帶有 6 路連接器探頭與CDE工具制造的探頭非常相似,但探頭頭不可互換,因此應(yīng)格外小心,尤其是當(dāng)兩個(gè)系統(tǒng)都在現(xiàn)場使用時(shí)。CDE兼容探頭具有獨(dú)特的黑色物鏡轉(zhuǎn)換器。所有 Jandel 探頭都具有高水平的機(jī)械精度。通過視頻檢測系統(tǒng)和光學(xué)干涉儀驗(yàn)證半徑、間距和平面度的規(guī)格。負(fù)載由電子測力計(jì)驗(yàn)證。
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