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kleindiek探針臺(tái)MM3A-EM

  • 品  牌:kleindiek
  • 型  號(hào):MM3A-EM
  • 技術(shù)資料:
  • 閱讀次數(shù):557

產(chǎn)品介紹

MM3A-EM探針站包括多達(dá)八個(gè)MM3A-EM微操作器,與我們的X和Y方向行程為30mm的遠(yuǎn)程子階段相結(jié)合。子階段可以選擇性地配備位置編碼器,可產(chǎn)生50nm的重復(fù)性。另一個(gè)選項(xiàng)是添加一個(gè)范圍為3 mm的Z軸。

整個(gè)平臺(tái)可以在短短幾分鐘內(nèi)安裝在SEM的載物臺(tái)上,也可以很容易地將其移除,以使顯微鏡恢復(fù)到以前的狀態(tài)。

MM3A-EM微操作器配備了低電流、低容量的測(cè)量能力,并與探測(cè)工具硬件和軟件套件完全兼容,包括帶電接觸測(cè)試儀和電子束感應(yīng)電流成像模塊等。

該平臺(tái)還可以安裝溫度高達(dá)450°C的加熱臺(tái)。其他定制可根據(jù)要求提供(e,g,集成LED照明)。

性能特點(diǎn)

  • 緊湊靈活

-易于安裝和拆卸,具有高度靈活性

-帶模塊化組件的即插即用系統(tǒng)

-大多數(shù)SEM/FIB儀器的接口解決方案

-快速設(shè)置

-大樣本的充足空間

-大工作范圍(30 mm x 30 mm子階段行程)

-開創(chuàng)性的布線技術(shù)

  • 清晰簡(jiǎn)單

-直觀的控制界面和軟件

-用戶友好且易于學(xué)習(xí)

-快速簡(jiǎn)便的探針頭更換

-緊湊、獨(dú)立的電子設(shè)備

-使用多個(gè)操縱器輕松工作

  • 堅(jiān)固穩(wěn)定

-好的穩(wěn)定性

-低漂移(1納米/分鐘)

-可靠運(yùn)行(一年耐久性試驗(yàn))

-幾乎不受振動(dòng)影響

-手動(dòng)快速預(yù)定位

  • 快速準(zhǔn)確

-高操作速度(高達(dá)10毫米/秒)

-亞納米分辨率(0.25納米)

-無(wú)齒隙或反向間隙

-廣泛的工作范圍

-一個(gè)驅(qū)動(dòng)器中的粗排量和細(xì)排量

技術(shù)參數(shù)

  • 總高度:31毫米
  • 總寬度:180毫米
  • max樣本尺寸:70 mm-70 mm,max高度10 mm
  • 重量:~1200克

三軸微型操作器

A=左/右B=上/下C=進(jìn)/出

  • 工作范圍:A=240°,B=240°,C=12mm
  • 分辨率A:7 x 10–9 rad(0.5 nm)
  • 分辨率B:7 x 10–9 rad(0.2 nm)
  • 分辨率C:<0.05 nm
  • 低漂移:1納米/分鐘

低容量、低電流測(cè)量

  • 噪音:25 fA@1 Hz
  • 絕緣泄漏電流:<50 fA/V
  • 信號(hào)導(dǎo)體電阻:<5?
  • max電壓:100 V
  • max電流:100 mA

變電站

  • 行程X和Y:28.5毫米
  • 速度:highest 2 mm/s
  • 分辨率:<0.5 nm
  • 重復(fù)性:50 nm(可選)
  • 角度偏差:<1µrad
  • 負(fù)載:500 g
  • 可選Z驅(qū)動(dòng)范圍:3毫米
  • Z提升能力:25 g
  • 溫度范圍:273 K至353 K
  • 特高壓版本:273 K至393 K
  • min壓力:10-7毫巴
  • 超高壓版本:2 x 10-10毫巴
  • 變電站安裝:4 x 3.2 mm孔
  • 樣品安裝:夾子或2 x M3孔

產(chǎn)地:德國(guó)

產(chǎn)品應(yīng)用

  • 納米拋光
  • 故障分析
  • 低電流晶體管測(cè)試

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