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NUMERIK JENA光柵尺Kit L2 vac

產(chǎn)品介紹

Kit L系列直線光柵尺特別設(shè)計用于個性化的應(yīng)用。該系列產(chǎn)品不僅擁有極小的尺寸,更提供配置能力。該系列產(chǎn)品幾乎不限制設(shè)計師的設(shè)計自由。

性能特點

  • 特殊真空版的Kit L2帶EPIFLEX讀數(shù)模塊(2場掃描)
  • 帶EPIFLEX讀數(shù)模塊(2場掃描)
  • 光柵尺部件滿足真空度達(dá)10 E-6 mbar(UHV)的氣壓要求
  • 1 Vpp或RS 422輸出信號
  • 多達(dá)100倍的細(xì)分信號
  • 最小測量步距僅50 nm
  • 運動速度達(dá)10 m/s(1 Vpp)

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