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XITON PHOTONICS激光系統(tǒng)IXION 193 SLM

產(chǎn)品介紹

XITON PHOTONICS是泵浦固態(tài)激光器與非線性光學(xué)器件的專家。XITON PHOTONICS開(kāi)發(fā)并制造了幾乎任何所需波長(zhǎng)的可靠激光系統(tǒng),波長(zhǎng)范圍從深紫外185nm到中紅外5µm。XITON PHOTONICS是一家位于德國(guó)的全球運(yùn)營(yíng)公司,擁有超過(guò)15年的經(jīng)驗(yàn)。IXION 193 SLM是一種單頻全固態(tài)激光系統(tǒng),用于光學(xué)計(jì)量、193nm步進(jìn)光學(xué)器件的校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子激光器的帶寬控制等應(yīng)用。該系統(tǒng)的波長(zhǎng)可在185至194nm之間的范圍內(nèi)定制,并且可以在購(gòu)買(mǎi)時(shí)預(yù)先配置為固定波長(zhǎng)。作為一種選擇,將具有0.001nm光譜精度的高精度光譜儀集成到系統(tǒng)中。這允許大限度地控制激光器的光譜調(diào)諧。

性能特點(diǎn)

  • 可靠性

技術(shù)參數(shù)

  • 產(chǎn)地:德國(guó)
  • 波長(zhǎng):193.368 nm
  • 平均功率:10mW
  • 脈沖持續(xù)時(shí)間:典型值8-12 ns
  • 每脈沖能量:1.6µJ
  • 重復(fù)頻率:1-15 kHz
  • 光束質(zhì)量:M²<1.6
  • 頻譜帶寬:<80 MHz
  • 光譜可調(diào)諧性:>10pm
  • 相干長(zhǎng)度:>2 m
  • 脈沖對(duì)脈沖刺入.:σ<2.5%

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