用于雙激光故障注入的 D-LMS 顯微鏡站是一個(gè)平臺(tái),允許獨(dú)立聚焦和掃描兩個(gè)激光點(diǎn),用于集成電路的評(píng)估。雙點(diǎn)注射工藝的理想選擇,它提供了所有空間和時(shí)間的靈活性,可以通過背面分析電路
集成電路評(píng)估雙激光站(均通過顯微鏡點(diǎn))
背面激光故障注入的理想選擇
具有高分辨率物鏡的1米以下單模激光光斑尺寸
兩個(gè)激光光斑都具有完全獨(dú)立的時(shí)間和空間調(diào)制
通過數(shù)百米的硅來觀察集成電路路徑上的激光點(diǎn)的照相機(jī)
高再現(xiàn)性和高分辨率激光光斑位移
包括三個(gè)阿爾法諾夫激光模塊
光學(xué)鏡頭技術(shù)
光電發(fā)射套件
熱激光刺激套件
通過CE認(rèn)證的激光外殼完成自動(dòng)設(shè)置
高分辨率目標(biāo)
單模光纖激光器
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PDM+/PDM+ HP |
PDM4+ and PDM4+ HP |
脈沖持續(xù)時(shí)間 |
從1.5納秒到連續(xù)波 |
從1.5納秒到連續(xù)波 |
峰值功率 |
高達(dá)3.2瓦 |
高達(dá)10瓦 |
波長(zhǎng) |
980納米;1064牛米 |
980納米;1064牛米 |
重復(fù)率 |
從單發(fā)到250兆赫 |
從單發(fā)到250兆赫 |
命令接口 |
TTL/LVTTL /軟件& dlls |
TTL/LVTTL /軟件& dlls |
光束質(zhì)量 |
單模 |
單模 |
InGaAs 紅外相機(jī)
Captor |
640x512 µm |
動(dòng)態(tài)量程 |
140 dB |
接口 |
USB(包含軟件) |
電學(xué)
電壓 |
220 V/110 V |
電流 |
16 A |