WASCO壓力開(kāi)關(guān)UC8

UC8 系列采用 Wasco 專有的制造方法和 EIgiloy 隔膜。它具有高純度和高耐腐蝕性。其全焊接結(jié)構(gòu)消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的選擇，精度高，公差小。我們?cè)O(shè)計(jì)的 UC8 系列適用于下一代半導(dǎo)體加工設(shè)備中的高腐蝕性環(huán)境。UC8 系列的額定 95B2 應(yīng)用周期超過(guò) 2,000,000 次。UC8 系列可提供滿足或超過(guò) SEMI F20 UHP 要求的材料選項(xiàng)。根據(jù) SEMI F1，所有開(kāi)關(guān)的氦氣泄漏測(cè)試均達(dá)到≤ 1 x 10^-9 std cc/sec。

適用于下一代半導(dǎo)體加工設(shè)備中的高腐蝕性環(huán)境

額定 95B2 應(yīng)用周期超過(guò) 2,000,000 次

經(jīng)過(guò)氦氣泄漏測(cè)試

符合 SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn)

泄漏量≤1 x 10^-9 std cc/sec

UC8-A：激活點(diǎn)范圍：50 至 1500 Torr（abs壓力）

UC8-G：激活點(diǎn)范圍：2 至 20 PSIG 壓力表壓力

可提供符合或超過(guò) SEMI F20 UHP 要求的材料選項(xiàng)

可提供其他激活范圍

可提供更高的壓力

產(chǎn)地：美國(guó)

激活點(diǎn)范圍：50 至 1500 Torr（abs壓力）

復(fù)位帶：40 Torr + 啟動(dòng)點(diǎn)的 6 %（典型值）

激活點(diǎn)公差：± 15 Torr +2 %激活點(diǎn)（典型值）

耐壓：100 PSIG

爆破壓力：Min 1000 PSIG

潤(rùn)濕元件

工藝接口：316L SS SEMI F20 UHP 兼容

隔膜：埃爾吉洛伊Elgiloy

內(nèi)表面處理：5 Ra

預(yù)期壽命：≥ 2,000,000 次 95B2（取決于應(yīng)用情況）

防護(hù)等級(jí)：IP 67（abs配置）

泄漏率：氦氣泄漏測(cè)試 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

工作溫度：-20至 60 ℃（-4至 140 °F）

非操作溫度：-40至 100 ℃（-40至 212 °F）

氣箱、IGS 配氣盤(pán)、配氣系統(tǒng)、閥組箱體、蝕刻和沉積系統(tǒng)