UC9 系列采用 Wasco 專有的制造方法和 Elgiloy 隔膜。它具有高純度和高耐腐蝕性。其全焊接結(jié)構(gòu)消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的選擇,精度高,公差小。我們設(shè)計的這些開關(guān)適用于下一代半導(dǎo)體加工設(shè)備中的高腐蝕性環(huán)境。UC9 系列的額定 95B2 應(yīng)用周期超過 2,000,000 次。UC9 系列可提供符合或超過 SEMI F20 UHP 要求的材料選擇。根據(jù) SEMI F1,所有開關(guān)的氦氣泄漏測試均達到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec。
適用于下一代半導(dǎo)體加工設(shè)備中的高腐蝕性環(huán)境
額定 95B2 應(yīng)用周期超過 2,000,000 次
通過了 SEMI F1 ≤ 1 x10-9 std cc/sec 的氦氣泄漏測試
UC9-A:激活點范圍:壓力abs 20 至 200 Torr
UC9-G:激活點范圍:0.5 至 3.5 PSIG 壓力表壓力
典型 UC9,帶 1/4" 外螺紋端面密封和 M8 3 針(可提供其他配置)
可提供更高的額定溫度
可提供其他材料
可提供其他激活范圍
可提供更高壓力
產(chǎn)地:美國
激活點范圍:20 至 200 Torr(壓力abs)
復(fù)位帶:10 Torr + 啟動點的 6 %(典型值)
激活點公差:+/- 5 Torr +2 %激活點(典型值)
耐壓:100 PSIG
爆破壓力:1000 PSIG Min
工藝接口:316L SS
符合標(biāo)準:SEMI F20 UHP
隔膜:埃爾吉洛伊(Elgiloy)
內(nèi)表面光潔度:5 Ra
工作溫度:-20 至 60 ℃(-4至 140 °F)
非工作溫度:-40至 100 ℃(-40至 212 °F)
預(yù)期壽命:≥ 1,000,000 次 95B2(視應(yīng)用而定)
防護等級:IP 67(Abs配置)
泄漏率:氦氣泄漏測試 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
Max額定電流:1 A
交流/直流電壓:115/ 28 V
觸點材料:金
氣箱、IGS 配氣盤、配氣系統(tǒng)、閥組箱體、蝕刻和沉積系統(tǒng)