自1989年以來,客戶一直依賴UHP150系列的可靠性和性能。除了全焊接結構外,該系列還配備了全不銹鋼傳感器。UHP150系列采用了沃斯科的專有制造方法,消除了所有泄漏路徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的好的開關,精度高,公差小。
我們?yōu)檩^高純度應用(如半導體設備)設計了UHP150系列。UHP150系列不含任何彈性體或O型圈。根據(jù)SEMI F1,所有開關都經(jīng)過氦泄漏測試,達到≤ 1 x 10-9標準立方厘米/秒。UHP150系列在100級潔凈室中制造和包裝。
煤氣箱
臭氧系統(tǒng)
氣體分配系統(tǒng)
半導體設備
醫(yī)療設備
氣體過濾系統(tǒng)