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Semicansoft薄膜測(cè)量系統(tǒng)MProbe 20

產(chǎn)品介紹

MProbe 20是一種用于全球數(shù)千個(gè)應(yīng)用的薄膜厚度測(cè)量臺(tái)式系統(tǒng)。它只需單擊鼠標(biāo)即可測(cè)量薄膜厚度和折射率。可以快速可靠地測(cè)量1nm至1mm的厚度,包括多層膜堆疊。不同的MProbe 20模型主要通過(guò)光譜儀的波長(zhǎng)范圍和分辨率來(lái)區(qū)分,這反過(guò)來(lái)決定了可以測(cè)量的材料的厚度范圍和類(lèi)型。該測(cè)量技術(shù)基于光譜反射——快速、可靠且無(wú)損。

性能特點(diǎn)

  • 靈活:模塊化薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng):為您的應(yīng)用選擇更好配置,并在需要時(shí)輕松升級(jí)
  • 精度:<0.01nm或0.01%
  • 材料:500+擴(kuò)展材料數(shù)據(jù)庫(kù)
  • 軟件:用戶(hù)友好且功能豐富的TFCompanion軟件甚至可以處理復(fù)雜的應(yīng)用程序。層數(shù)無(wú)限制,支持背面反射率、表面粗糙度、暗度等。
  • 集成:輕松集成TCP服務(wù)器
  • 實(shí)時(shí)、一鍵測(cè)量和分析
  • 測(cè)量歷史:調(diào)用/顯示測(cè)量結(jié)果和統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國(guó)

精度:<0.01nm或0.01%(在200nm氧化物上進(jìn)行100次測(cè)量的s.d.)

<1nm或0.2%(依賴(lài)于膠片堆棧)

穩(wěn)定性:<0.02nm或0.2%(20天,每天測(cè)量)

測(cè)量厚度:1nm至1mm

光斑尺寸:<1mm

樣品尺寸:>=10mm

主機(jī):包括光譜儀、光源、光控制器微處理器

樣品臺(tái):SH200A

探頭:光纖反射

測(cè)試樣品:200nm氧化硅或PET薄膜

電纜:USB或LAN

電源適配器:24VDC

電壓:110/220V

 


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