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400-888-1375

Semiconsoft薄膜測(cè)量?jī)xVIS

  • 品  牌:Semiconsoft
  • 型  號(hào):VIS
  • 技術(shù)資料:
  • 閱讀次數(shù):496

產(chǎn)品介紹

MProbe Vis-Thin 薄膜測(cè)量系統(tǒng)是一款結(jié)構(gòu)緊湊、功能多樣的臺(tái)式系統(tǒng)。它可以測(cè)量不同基底上 10nm - 150µm 厚度范圍內(nèi)的半透明薄膜。而且,它經(jīng)濟(jì)實(shí)惠,使用方便。MProbe Vis(X) 的生產(chǎn)版本可承受振動(dòng),并可通過局域網(wǎng)連接24小時(shí)運(yùn)行。它可用于在線和 OEM 應(yīng)用。它與無塵室環(huán)境兼容。MProbe20 VisX 系統(tǒng)是 MProbe20 Vis 系統(tǒng)的一個(gè)版本,在更長(zhǎng)波長(zhǎng)(> 700 nm)下的靈敏度有所提高。

性能特點(diǎn)

靈活性高

500 多種擴(kuò)展材料數(shù)據(jù)庫(kù)

可以處理復(fù)雜的應(yīng)用,沒有層數(shù)限制,支持背面反射率、表面粗糙度、暗淡度等。

集成:輕松集成 TCP 服務(wù)器

經(jīng)濟(jì)實(shí)惠,性價(jià)比高

選型指南

MProbe20

波長(zhǎng)范圍

厚度測(cè)量范圍

VIS

400m-1000nm

10nm–150μm

UVVIS

200m-1100nm

1nm-75μm

VIS-HR

700m-1100nm

1um-400um

NIR

900m-1700nm

50nm–150μm

VisNIR

380m-1700nm

50nm-250μm

UVVisF

200m-1000nm

1nm-20μm

UVVISNIR

200m-1700nm

1nm-75μm

NIRHR

1500m-1550nm

10μm-1800μm

(glass) 4μm-400μm (Si)

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與細(xì)節(jié)

主機(jī)(包括光譜儀、光源)

SH200A 樣品臺(tái),帶聚焦鏡頭和微調(diào)裝置

光纖反射探頭

TFCompanion -RA 軟件、USB許可證密鑰、包含軟件發(fā)布、用戶指南和其他材料的 USB 記憶棒

USB / LAN 電纜

24VDC 電源適配器(110/220V)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國(guó)

厚度范圍: 10 nm - 150 μm

波長(zhǎng)范圍: 400nm -1000nm(典型校準(zhǔn)范圍:380-1050nm),VisX 為 450nm -1050nm

波長(zhǎng)分辨率: < 小于 1 nm,狹縫為 20 微米(整個(gè)光譜均勻一致)

連接: USB / 1 GbE LAN

數(shù)據(jù)采集速率:1.5kHz(Max)

測(cè)量時(shí)間:10秒(Min)

精度:<0.01nm 或 0.02%(在 200nm 氧化物上進(jìn)行 100 次測(cè)量的 s.d.)。

準(zhǔn)確度:<1nm 或 0.2%(取決于薄膜疊層)

穩(wěn)定性:< 0.02nm 或 0.2%(每天測(cè)量 20 天)

光斑尺寸:< 1 mm

樣品尺寸:>= 10 mm

光源:5W TH 燈,10000 小時(shí)壽命(可選:20W TH 燈,2000 小時(shí)壽命)

產(chǎn)品應(yīng)用

可快速可靠地測(cè)量大多數(shù)半透明或輕吸收薄膜: 氧化物、氮化物、光刻膠、聚合物、半導(dǎo)體(硅、砷化鎵、aSi、聚硅等)、硬涂層(SiC、DLC、AlN)、聚合物涂層(Paralene、PMMA、聚酰胺)、ITO、電池間隙、氧化鋁、薄金屬膜(<50 納米)等。


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