TPSS 產品具有高純度、高強度和高耐腐蝕性等多種特性,TPSS是一種導電材料,不易產生靜電。適用于半導體熱處理爐的爐芯管、熱平衡管、舟和叉。 此外,還提供采用 CVD 方法在產品表面鍍上一層超純致密碳化硅膜的產品,以滿足用戶的各種需求。
高純度、高強度
高耐腐蝕性
均勻加熱
耐熱震性
抗氧化性
產地:日本
比熱(室溫,J/gK):0.69
線膨脹系數(shù)(×10 -6 /K):4.3(室溫~1000℃)
導熱系數(shù)(室溫,W/mK):175
耐熱震溫度(△T、℃):400
表層材質:CDV碳化硅膜
體積電阻率(Ω厘米):10-1
按等級進行化學分析:TPSS-U
Fe 2.5 Al 0.5 Na 0.2 K 0.2 Ca 0.7 Cu <0.01 Cr 0.1 Ni 0.3
表層材料熱膨脹系數(shù):碳化硅 4.3 石英玻璃 0.5氮化硅 3.5 硅 3.9
硝酸和氫氟酸的混合酸溶液:不會被腐蝕
爐芯管、熱平衡管、舟和叉