膜組件適合脫氣、給氣的結構,它不透液體,只透氣體。選項多,以多種類型迎合多種用途-可膜內處理。膜外部磨皮減少結露的產(chǎn)生,不使用氮氣,能提高一定的效率,可按不同組件可脫至達ppb單位。
顯影液用
處理流量大
產(chǎn)地:韓國
膜材料:PFA
膜面積:約0.33 m2
本體(真空側):SUS 304
接頭(潤濕側):PTFE
標準流速:50 CC/min
標準流量時的壓力損失:0.05 MPa(0.05 kg/cm2)
除氣性能:8.4 ppm以下⇒7.2 ppm以下
脫氣標準:22~24 ℃ 超純水
連續(xù)流量:50 kΩ
連續(xù)流速:50 CC/min
真空壓力:100 Torr
尺寸:Ø 102 × 155 mm(不包括配件)
液體入口直徑:Ø6管接頭
液體出口直徑:Ø6管接頭
真空孔:PT 1/ 4
Max液體溫度:40 ℃或以下
Max工作壓力:0.2 MPa(0.2 kg/cm2)指模塊內部壓力
正常壓力:0.2 MPa(0.2kg/cm2)
水容量:200 ml
去離子水的脫氣、超音波清洗用水脫泡沫處理、含有表面活性劑的液體