UHP150 系列自 1989 年以來,具有客戶一直信賴的可靠性和性能。該系列除采用全焊接結(jié)構(gòu)外,還采用了全不銹鋼傳感器。UHP150 系列采用 Wasco 專有的制造方法,消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的選擇,精度高,公差小。我們設(shè)計(jì)的 UHP150 系列適用于半導(dǎo)體設(shè)備等高純度應(yīng)用。UHP150 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據(jù) SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn),所有開關(guān)的氦氣泄漏測試均達(dá)到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec。UHP150 系列在 100 級潔凈室中制造和包裝。
為超 高純應(yīng)用(如半導(dǎo)體設(shè)備)設(shè)計(jì)
符合標(biāo)準(zhǔn) SEMI F1
所有開關(guān)的氦氣泄漏測試均達(dá)到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
在 100 級潔凈室內(nèi)制造和包裝
UHP150-3 Max系統(tǒng)壓力:30 PSIG
UHP150-5 Max系統(tǒng)壓力:125 PSIG
UHP150-8 Max系統(tǒng)壓力:250 PSIG
UHP150-15 Max系統(tǒng)壓力:500 PSIG
可提供其他壓力范圍
可提供其他配置表面安裝
可提供其他配置外螺紋端面密封
產(chǎn)地:美國
Max系統(tǒng)壓力:30 PSIG
設(shè)定點(diǎn)范圍:1.0-30 PSIG
設(shè)定點(diǎn)公差:± 0.7 PSI
復(fù)位范圍:0.7-2.3 PSI
接頭:316L SS
膜片:17-7PH SS
使用壽命:≥ 1,000,000 次
防護(hù)等級:IP 65
泄漏率:≤ 1 x 10-9 std cc/sec
工作溫度:-65至 225 °F;-54 至 107 ℃
表面貼裝:IGS
端面密封:1/4 " 外螺紋
氣箱、臭氧系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、半導(dǎo)體設(shè)備、氣體過濾系統(tǒng)