自 1989 年以來,行業(yè)客戶一直信賴 UHP160 系列的可靠性和性能。該系列除采用全焊接結(jié)構(gòu)外,還采用了全不銹鋼傳感器。UHP160 系列采用 Wasco 專有的制造方法,消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的開關(guān),精度高,公差小。我們?yōu)楦呒兌葢?yīng)用(如半導(dǎo)體設(shè)備)設(shè)計了這些開關(guān)。UHP160 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據(jù) SEMI F1 標準,所有開關(guān)的氦氣泄漏測試均達到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec。UHP160 系列在 100 級潔凈室中制造和包裝。
適用于半導(dǎo)體設(shè)備等高純度應(yīng)用
不含任何彈性體或 O 形圈
符合 SEMI F1 標準
所有開關(guān)的氦氣泄漏測試均達到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
100 級潔凈室中制造和包裝
UHP160-3 設(shè)定點范圍:1.6 - 25.0 inHg
UHP160-5 設(shè)定點范圍:6.0 - 29.5 inHg
可提供其他表面安裝配置
可提供其他端面密封配置
產(chǎn)地:美國
Max系統(tǒng)壓力:30.0 inHg
設(shè)定點范圍:1.6 - 25.0 inHg
設(shè)定點公差:± 1.2 inHg
典型復(fù)位帶:1.0 - 4.6 inHg
潤濕元件接頭:316L SS
膜片:17-7PH SS 和 316L SS
使用壽命:≥ 1,000,000 次循環(huán)
防護等級:IP 67
泄漏率:≤ 1 x 10-9 std cc/sec
工作溫度:-65 至 225 °F;-54 至 107 °C
表面安裝:帶 IGS
端面密封:1/4 " 外螺紋
氣箱、臭氧系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、半導(dǎo)體設(shè)備