自 1989 年以來,業(yè)界客戶一直信賴 SV120 系列產(chǎn)品的可靠性和性能。該系列除采用全焊接結(jié)構(gòu)外,還采用了全不銹鋼傳感器。SV120 系列采用 Wasco 專有的制造方法,消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的選擇,精度高,公差小。我們?yōu)榘雽?dǎo)體設(shè)備等高純度應(yīng)用設(shè)計(jì)了這些開關(guān)。SV120 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據(jù) SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn),所有開關(guān)的氦氣泄漏測(cè)試值均為≤ 1 x 10-9 std cc/sec。
為半導(dǎo)體設(shè)備等高純度應(yīng)用設(shè)計(jì)
不含任何彈性體或 O 形圈
符合SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn)
氦氣泄漏測(cè)試值均為≤ 1 x 10-9 std cc/sec
SV120-3 設(shè)定點(diǎn)范圍:1.6 - 25.0 inHg
SV120-5 設(shè)定點(diǎn)范圍:6.0 - 29.5 inHg
可提供其他配置帶 1/4" 面密封和飛線
可提供其他配置帶 KF25 接頭和 9 針
產(chǎn)地:美國(guó)
Max系統(tǒng)壓力:30.0 inHg
設(shè)定點(diǎn)范圍:1.6 - 25.0 inHg
設(shè)定點(diǎn)公差:± 1.2 inHg
典型復(fù)位帶:1.0 - 4.6 inHg
潤(rùn)濕元件 接頭:316L SS
膜片:17-7PH SS
使用壽命:≥ 1,000,000 次
防護(hù)等級(jí):IP 65
泄漏率:≤ 1 x 10-9 std cc/sec
工作溫度:-65 至 225 °F;-54 至 107 °C
氣箱、臭氧系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、半導(dǎo)體設(shè)備