基于強(qiáng)大的 COMPex 準(zhǔn)分子激光器的系統(tǒng)是用于具有線光束或方形光束場形狀的高質(zhì)量 UV 微加工的靈活工具。
光學(xué)設(shè)計、堅(jiān)固的機(jī)械結(jié)構(gòu)和具有脈沖間穩(wěn)定性的準(zhǔn)分子激光器可提供非常準(zhǔn)確的結(jié)果。應(yīng)用包括激光剝離 (LLO) 分離、摻雜劑離子激活、燒蝕圖案化和薄膜退火。
激光剝離分離
摻雜離子激活
燒蝕圖案
準(zhǔn)分子激光退火