VDM-2 陶瓷膜片真空傳感器采用耐腐蝕的氧化鋁膜片,膜片可隨施加的壓力而彎曲。核心壓力傳感器元件采用壓電電阻測(cè)量法。膜片傳感器測(cè)量的真空氣體壓力不受氣體類型或成分的影響。與通常使用充油傳感器元件的不銹鋼壓電真空傳感器相比,陶瓷壓電傳感器元件清潔干燥,減免了污染真空系統(tǒng)的風(fēng)險(xiǎn)。電容式隔膜真空計(jì)在許多真空應(yīng)用中用于測(cè)量和控制的過(guò)程。VDM-2 傳感器是傳統(tǒng) 1000 托/mbar 全量程電容式隔膜真空計(jì) (CDG) 的替代產(chǎn)品,性價(jià)比高且結(jié)構(gòu)緊湊。VDM-2 可用于可能存在腐蝕性氣體和化學(xué)物質(zhì)的苛刻真空應(yīng)用中。陶瓷氧化鋁膜片具有良好的耐腐蝕性,可抵御多種溶劑和酸性物質(zhì)。VDM-2 傳感器還可選配 Parylene 保護(hù)層,以防止傳感器材料受到腐蝕或氧化。Parylene 是一種獨(dú)特的聚合物,具有很強(qiáng)的耐腐蝕性和疏水性,專門設(shè)計(jì)用于凍干和過(guò)氧化氫等離子滅菌等應(yīng)用。
測(cè)量范圍從 1.0E-1 到 1333 mbar,共 4 個(gè)量程
經(jīng)濟(jì)實(shí)惠,可替代傳統(tǒng)的 1000 托全量程 CDG
整個(gè)壓力范圍內(nèi)的測(cè)量與氣體無(wú)關(guān)
耐腐蝕陶瓷或聚對(duì)二甲苯膜片
0-10 VDC 可編程電壓輸出
數(shù)字 RS-232 或 RS-485 接口
用于外部控制的可選固態(tài)設(shè)定點(diǎn)繼電器
可直接替換其他供應(yīng)商的真空計(jì)
15 引腳 HD D-sub RS-232 / RS-485
引腳說(shuō)明
1 RS-232 發(fā)送 / RS-485 (-)
2 RS-232 接收 / RS-485 (+)
3 電源電壓 12-30 VDC
4 電源電壓 -(返回)
5 模擬電壓信號(hào) +
6 模擬電壓信號(hào) - (返回)
7 繼電器 1 常開(kāi)觸點(diǎn)
8 繼電器 1 公共端
9 繼電器 1 NC(常閉觸點(diǎn))
10 繼電器 2 NC(常閉觸點(diǎn))
11 繼電器 2 共用
12 繼電器 2 常開(kāi)(常開(kāi)觸點(diǎn))
13 繼電器 3 常開(kāi)(常開(kāi)觸點(diǎn))或模擬輸出 2
14 繼電器 3 共用
15 繼電器 3 常開(kāi)(常開(kāi)觸點(diǎn))
PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 至 USB,15 針 HD D-sub,電源(90 至 230 VAC)
PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 轉(zhuǎn) USB,15 針 HD D-sub,電源(90 至 230 VAC)
PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉(zhuǎn) USB,9 針 D 型超微,電源(90 至 230 VAC)
PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB,9 針 D-sub 接口,電源(90 至 230 VAC)
TVC-1-01 TrueVac 顯示單元
CBL-TVC1-9DS-02 電纜 TVC-1 至 9 針 D-sub, 2 米
CBL-TVC1-9DS-03 電纜 TVC-1 至 9 針 D-sub, 3 米
CBL-TVC1-15HDS-02 電纜 TVC-1 至 15 HD 針 D-sub,2 米
CBL-TVC1-15HDS-03 電纜 TVC-1 至 15 HD 針 D-sub,3 米
CBL-TVC1-RJ45-02 電纜 TVC-1 至 RJ45,2 米
CBL-TVC1-RJ45-03 電纜 TVC-1 至 RJ45,3 米
產(chǎn)地:丹麥
測(cè)量范圍:0.1 至 1333 mbar(0.1 至 1000 托)
測(cè)量原理:陶瓷膜片壓電電阻式
精度 100 至 1333 mbar:讀數(shù)的 0.5 %
精度 1 至 99.9 mbar:滿刻度的 0.05 % (1333 mbar)
磁滯 1×10-1 至 10 mbar (ISO19685:2017):讀數(shù)的 1 %
磁滯 10 至 1200 mbar(ISO19685:2017):讀數(shù)的 0.1 %
模擬輸出分辨率:16 位 (150 µV)
模擬輸出更新率:560 Hz
響應(yīng)時(shí)間(ISO 19685:2017):< 20 ms
溫度補(bǔ)償:+10 至 +50 ℃
固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍:1 至 1333 mbar(0.75 至 1000 托)
固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值:50 V、100 mArms / mADC
固態(tài)繼電器觸點(diǎn)耐久性:無(wú)限制(無(wú)機(jī)械磨損)
固態(tài)繼電器認(rèn)證:UL 認(rèn)證: 文件 E76270;CSA 認(rèn)證: 證書(shū) 1175739;EN/IEC 60950-1 認(rèn)證
工作環(huán)境溫度:-20 至 +50 ℃
介質(zhì)溫度:-20 至 +50 ℃
儲(chǔ)存環(huán)境溫度:-40 至 +80 ℃
烘烤溫度(非工作):+80 ℃
Max介質(zhì)壓力:2 巴壓力Abs(29 psia)
爆破壓力:壓力Abs 4 巴(58 psia)
安裝位置:任意
防護(hù)等級(jí),EN 60529/A2:2013:IP40
濕度,IEC 68-2-38:98 %,無(wú)冷凝
電源電壓:12 至 30 VDC
功耗:240 mW(Max值)
反限性保護(hù):是
過(guò)壓保護(hù):是
內(nèi)部保險(xiǎn)絲:100 mA(熱敏;可恢復(fù))
外殼:SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061
真空處理法蘭(介質(zhì)浸濕):不銹鋼 1.4401 / AISI 316
真空暴露材料(與介質(zhì)接觸) 標(biāo)準(zhǔn)型:316 不銹鋼、氟橡膠、氧化鋁 (AI2O3 96%)
真空暴露材料(與介質(zhì)接觸) 聚對(duì)二甲苯保護(hù)型:316 不銹鋼、氟橡膠、聚對(duì)二甲苯
工藝泄漏密封性:<1-10-9 mbar-l/s
CE:EMC 指令 2014/30/EU
符合 RoHS 指令:歐盟指令 2015/863
半導(dǎo)體加工、PVD 涂層、CVD 加工、器械滅菌、短程蒸餾、真空爐、冷凍干燥