VAT快速截止閥Series 257

截止閥的主要要求是其對任何回流事件的可靠和快速的緊急隔離。257旨在提供靈敏的高速隔離功能，可靠地防止回流到制程腔體或管道系統(tǒng)的風(fēng)險(xiǎn)。

25.7 HV 快速關(guān)閉閥是流量控制的。沒有任何子系統(tǒng)（傳感器和執(zhí)行器）的直接操作設(shè)計(jì)提供了高速隔離，具有低復(fù)雜性和低故障風(fēng)險(xiǎn)。從最初的回流脈沖到完全隔離不到 10 毫秒。

作為一種解決方案，截止閥不給系統(tǒng)增加電導(dǎo)屏障。25.7 的特殊流量優(yōu)化設(shè)計(jì)在這方面樹立了標(biāo)準(zhǔn)，在高電導(dǎo)和快速隔離之間實(shí)現(xiàn)了平衡。

在氣流中有副產(chǎn)品的工藝中使用時(shí)，例如：在前級(jí)應(yīng)用中，快速關(guān)閉閥上的任何污染物積累都會(huì)降低電導(dǎo)，并可能對其隔離能力產(chǎn)生負(fù)面影響。這一與工藝相關(guān)的挑戰(zhàn)通過一種特殊的表面涂層來解決，該涂層可顯著減少大多數(shù)副產(chǎn)品的積累。額外的加熱選項(xiàng)可用于避免閥門表面的工藝氣體冷凝。

25.7 HV 快速關(guān)閉閥的尺寸為 DN 50 - 160mm (2“ - 6”)。 閥體由不銹鋼制成。DN63 至 DN160 (2½“ - 6”) 的標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 ISO-K，DN50 (2“) 的標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 ISO-KF。

對于具有非常腐蝕性過程氣體的應(yīng)用，可以使用 FFKM 密封件。

• 流量控制運(yùn)動(dòng)
• 反應(yīng)時(shí)間快
• 優(yōu)化的電導(dǎo)
• 特殊的表面涂層可大限度地減少副產(chǎn)品污染
• 高水平的保護(hù)
• 延長使用壽命
• 簡易安裝
• 擁有成本低