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ENTEGRIS比例控制閥NT6300

產(chǎn)品介紹

NT 6300 型比例控制閥專為高的純度應(yīng)用而開(kāi)發(fā)。 該閥與高腐蝕性工藝兼容,專為 CMP 漿料應(yīng)用而設(shè)計(jì),是解決當(dāng)今流量控制需求的理想選擇。 該閥門采用 PFA 和 PTFE 用于接液部件,惰性材料用于非接液部件,可耐受惡劣的化學(xué)環(huán)境和外部噴射。 采用新的電機(jī)驅(qū)動(dòng)技術(shù),內(nèi)部電子控制閥門步進(jìn)電機(jī)的各個(gè)方面。 閥門使用 Entegris 的算法設(shè)計(jì)驅(qū)動(dòng),以保持所需的設(shè)定值。

性能特點(diǎn)

用于高的純度應(yīng)用和耐腐蝕的 PTFE 潤(rùn)濕表面

用于密封和污染保護(hù)的雙隔膜結(jié)構(gòu)

使用我們先進(jìn)的算法設(shè)計(jì)來(lái)驅(qū)動(dòng)閥門以保持所需的設(shè)定值

優(yōu)化閥座和隔膜設(shè)計(jì),大限度地減少死體積和流體剪切;從全關(guān)到全開(kāi)的可靠控制

占地面積小,可在有限空間內(nèi)輕松進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)安裝

技術(shù)參數(shù)


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