Entegris E2600 過濾器外殼用于化學(xué)凈化光刻曝光工具中使用的環(huán)境空氣。 E2600 過濾系統(tǒng)可保護曝光工具免受各種空氣分子污染物的影響。 E2600 過濾器外殼設(shè)計用于與 Entegris 化學(xué)空氣過濾器一起使用,以保護曝光工具中的化學(xué)放大抗蝕劑和暴露的光學(xué)表面。當(dāng)配備 Entegris 混合介質(zhì)化學(xué)空氣過濾器時,E2600 過濾器外殼可提供先進的保護,防止空氣中的分子酸、堿和可冷凝有機化合物。在 E2600 內(nèi)部,專門的化學(xué)過濾器以多級串聯(lián)配置排列,以提供保護,防止嚴重的污染事件,例如溶劑和顯影劑化學(xué)品的意外溢出。
去除酸、堿和可冷凝的有機物
內(nèi)部 HEPA 過濾器確保顆??刂?/p>
用于性能監(jiān)控的堆棧間示例端口
占地面積小,節(jié)省潔凈室空間
剛性結(jié)構(gòu)確??煽?、無故障運行
雙入口和出口過渡,用于簡單、硬或靈活的管道連接