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ENTEGRIS集成流量控制器NT6510

產(chǎn)品介紹

Entegris 采用創(chuàng)新的流量控制技術(shù)解決當(dāng)今流量控制的難題。InVue 集成流量控制器 (IFC) NT6510 專為超純液體化學(xué)品、去離子水和 CMP 泥漿的使用點化學(xué)品混合和分配而設(shè)計。NT6510 控制器還設(shè)計用于有效控制產(chǎn)生氣泡的介質(zhì),專為需要中低流量的應(yīng)用而設(shè)計。它是目前較小的 InVue 集成流量控制器,為液體處理系統(tǒng)節(jié)省了寶貴的空間。我們的 IFC 采用成熟可靠的壓差流量測量技術(shù)和新型的閉環(huán)過程控制??梢暬甘酒骺蔀轭A(yù)防性維護(hù)、故障排除和報警條件提供診斷,使用戶能夠集成更準(zhǔn)確的功能。閥座和隔膜的設(shè)計可大限度地減少死體積和流體剪切力,從而降低工藝污染的可能性。InVue IFC 的潤濕部件采用氟化材料,是保護(hù)化學(xué)完整性的適配選擇。此外,耐化學(xué)腐蝕的非潤濕部件在惡劣的化學(xué)環(huán)境中也能發(fā)揮優(yōu)良的性能。InVue IFC 采用雙聚四氟乙烯閥隔膜,用于流體密封和污染保護(hù)。利用電動閥和流量計技術(shù),封裝的內(nèi)部電子元件可控制流量控制器的所有方面。這些裝置由設(shè)定點信號(例如 4 - 20 mA、0 - 10 VDC)激活,以將流體流量保持在所需的設(shè)定點。

性能特點

與其他常用技術(shù)相比,在易產(chǎn)生氣泡的介質(zhì)中精度高

內(nèi)置壓力傳感器,可同時進(jìn)行流量和壓力雙輸出

占地面積小,節(jié)省空間,易于安裝

重復(fù)性高,可實現(xiàn)優(yōu)良的過程控制

快速響應(yīng),實現(xiàn)準(zhǔn)確的分配率

LED 狀態(tài)和離散報警輸出

選型指南

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國

潤濕部件材質(zhì):

閥體、閥膜: PTFE;

傳感器接口: CTFE 或 PFA;

主 O 形圈: Perfrez PXC Ultra

非潤濕部件:聚丙烯、PVDF、Viton、聚氨酯和尼龍(除上述材料外)

工作范圍%:滿量程流量的 10 至 100

流量控制精度:± 全量程的 1 %(使用 23 °C [73 °F] 的去離子水校準(zhǔn))

重復(fù)性:± 0.5 % 滿量程

壓力測量:0 至 414 kPa (0 至 60 psig)

壓力精度:± 全量程的 1 %

工作壓力:69 至 414 kPa (10 至 60 psig)

Min差壓要求:10 psi,差壓

輸出信號:兩個 4 至 20 mA 電氣隔離輸出,一個用于流量,一個用于壓力

響應(yīng)時間:< 3 秒

過壓限制:690 kPa (100 psig)

過程溫度:10 至 65 °C (50 至 149 °F)

電氣輸入:24 VDC(± 10 %),1.2 A

設(shè)定點輸入信號:4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC

外殼:IP64

重量:約 1.8 kg(4.0 磅)

符合認(rèn)證:CE

軟件:基于 Windows 的界面,用于用戶設(shè)置、校準(zhǔn)、監(jiān)控和數(shù)據(jù)收集

系統(tǒng)要求:Windows 7 或 10,8GB 內(nèi)存(Min)

當(dāng)前軟件版本 InVue TechTool 1.0.1.3

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

關(guān)鍵分配應(yīng)用、化學(xué)品添加和混合、按需化學(xué)混合


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