APC200是GPC3000的升級版,壓力流量控制器基本為電容壓力計供電(±15VDC),接收并顯示來自電容壓力計的壓力信號,連接節(jié)流閥,通過PID或自整定功能控制壓力. 它是一個控制裝置。其中,如果使用自整定功能,則通過檢測流入腔室的氣體量、泵速、閥位引起的真空壓力變化等重要參數(shù)來獲取壓力控制因素。如果用戶使用此功能來控制壓力,可以更快地達到所需壓力。內(nèi)置兩個過程限位繼電器,幫助用戶設(shè)備過程。
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