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KURT J LESKER不銹鋼閘閥SG Series

產(chǎn)品介紹

閥門處理半導(dǎo)體和其他加工中的應(yīng)用,常用于將泵和樣品入口鎖與 HV 或 UHV 工作室隔離。

閥門對行業(yè)的重要性幾乎與泵一樣重要。我們提供各種尺寸的閥門類型。

性能特點(diǎn)

  • CF 法蘭(帶銅墊片):在大氣中工作,壓力范圍為 10-11 托,可烘烤至 200°C(移除執(zhí)行器)
  • 通用電拋光不銹鋼
  • 1,100°C 真空釬焊,確保在 HV 和 UHV 壓力下可靠運(yùn)行
  • 在緊湊的設(shè)計中提供高電導(dǎo)率
  • 無沖擊運(yùn)行,振動小
  • 需要維護(hù)前的 100,000 次循環(huán)服務(wù)
  • 提供手動或氣動操作
  • 氣動閥在斷電或氣壓損失的情況下關(guān)閉或保持關(guān)閉
  • 所有氣動5” 法蘭外徑和更大的型號包含用于位置指示的磁性 REED 開關(guān)
  • 氣動閥配備 120VAC 電磁操作器,無需額外費(fèi)用(其他電壓,交流和直流,可根據(jù)要求提供)

技術(shù)參數(shù)


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