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ONTO缺陷檢測系統(tǒng)Dragonfly G3

  • 品  牌:ONTO
  • 型  號(hào):Dragonfly G3
  • 技術(shù)資料:
  • 閱讀次數(shù):1392

產(chǎn)品介紹

獨(dú)特的 2D 成像技術(shù)為亞微米缺陷提供快速、可靠的檢測,以滿足當(dāng)今的研發(fā)需求和未來的生產(chǎn)需求。Onto Innovation 的Truebump技術(shù)結(jié)合了多種 3D 計(jì)量技術(shù),可提供準(zhǔn)確的凸塊高度計(jì)量和共面性。這項(xiàng)新技術(shù)是 Onto Innovation 產(chǎn)品的基礎(chǔ),旨在提供快速吞吐量、提高明場和暗場靈敏度,并解決與大包裝檢測相關(guān)的現(xiàn)場挑戰(zhàn)。Dragonfly G3 系統(tǒng)提供 用于非視覺殘留物檢測的Clearfind技術(shù)。對(duì)于 CMOS 圖像傳感器 (CIS) 等市場,Dragonfly 系統(tǒng)將斜角照明與復(fù)雜的圖像處理和機(jī)器學(xué)習(xí)算法相結(jié)合,以檢測有源像素傳感器區(qū)域中的低對(duì)比度缺陷。

性能特點(diǎn)

  • 內(nèi)聯(lián)實(shí)時(shí)對(duì)焦
  • 允許計(jì)量傳感器集成的靈活平臺(tái)
  • IR 缺陷檢查和審查
  • 使用自動(dòng)對(duì)齊和 CAD 導(dǎo)入創(chuàng)建無晶圓配方
  • 原生工具匹配和通用配方服務(wù)器的配方共享
  • 基于規(guī)則的分箱和分類,用于立即處理芯片

技術(shù)參數(shù)

  • 大芯片和封裝支持 (>6400 mm²)
  • 基板支持:100mm-330mm晶圓
  • 高翹曲晶圓和 Taiko 處理選項(xiàng)

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