MetaPULSE 系列是金屬薄膜厚度測量的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MetaPULSE G 系統(tǒng)可在所有金屬薄膜上提供良好的性能,并針對在邏輯、內(nèi)存和 3D 封裝工藝中至關(guān)重要的薄單層和多層應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化。Onto Innovation 的PULSE技術(shù)提供了一種非接觸式、非破壞性技術(shù),可測量產(chǎn)品晶圓上多層金屬薄膜疊層中每一層的厚度,而不會受到底層或?qū)蛹壍母蓴_。與光學(xué)和 X 射線技術(shù)不同,PULSE 技術(shù)使用時間分辨聲學(xué)信號測量薄膜厚度,該聲學(xué)信號可用于有源芯片,無需特殊的計量測試場所。