VIV 真空隔離閥旨在與 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi 干式初級(jí)泵一起使用,是一種高電導(dǎo)、快速作用的高真空隔離閥,旨在防止蒸汽或顆粒從前級(jí)泵移動(dòng)到工藝室 . 當(dāng) VIV 關(guān)閉時(shí),前級(jí)泵排氣。 當(dāng)泵停止或停止時(shí),VIV 可保護(hù)工藝室不被通風(fēng)。 當(dāng)前級(jí)泵重新啟動(dòng)時(shí),閥門將在 VIV 內(nèi)的壓力下降時(shí)緩慢打開,從而大限度地減少任何壓力爆裂的影響。