DSV 系列隔膜閥是一個(gè)帶有兩個(gè)常閉截止閥和一個(gè)大氣參考的 GC 模塊。該閥門在過流區(qū)域完全沒有彈簧、波紋管、填料和潤滑劑。與大氣的金屬對(duì)金屬密封確保不會(huì)將不期望的元素傳輸?shù)搅魉僦小lgiloy 隔膜確保更大的耐腐蝕性和延長的整體使用壽命。
*非 CT-76 制造的表面貼裝系統(tǒng)需要 CT-76 底座適配器板
閥體:316L 不銹鋼、蒙乃爾合金和哈氏合金 C-276
閥座:PCTFE 和 PEEK
隔膜:Elgiloy AMS 5876
孔口尺寸:0.110? (2.8 mm)
流通能力:0.20 Cv
閥門內(nèi)部容積:0.231 cc
外部泄漏:1×10-5 cc/sec 氦氣(內(nèi)側(cè))
驅(qū)動(dòng)壓力:min.50 psig (3barg)
工作溫度
閥座材料PCTFE:-40°F 至 +212°F/-40°C 至 +100°C
閥座材料PEEK:0°F 至 +400°F /-18°C 至 +204°C
工作壓力
工作壓力:真空 (50 torr) 至 500 psig (34 bar)
耐壓:2000 psig (138 barg)
爆破壓力:8000 psig (552 barg)
包裝尺寸:3英寸長×2.6英寸高×1.5英寸寬