低壓微波等離子體源
可擴展和緊湊的設(shè)計
大面積應(yīng)用
高等離子體密度
高效率
低傷害
輕松適應(yīng)定制系統(tǒng)
雙等離子體的組合可以用于獲得二維等離子體陣列。單個源以及2個,4個和8個平行排列的等離子體可用于等離子體輔助表面處理,如表面活化,蝕刻和沉積。雙等離子體是不使用磁場的直接微波等離子體源。在簡化的描述中,它類似于由微波激發(fā)的反向發(fā)光管,雙等離子體通常在約1000Pa至10Pa的低壓下操作。由兩個磁控管產(chǎn)生的具有2.45GHz頻率的微波在兩端被饋送到等離子體線中。在外部低壓狀態(tài)下放電點火,隨著微波功率的增加,等離子體從沿著管的兩端增長,并且形成軸向均勻的等離子體。
頻率:915MHz / 2450MHz / 5800MHz
HF-輸入功率:典型2 kW/ m @ 1 mbar
波導(dǎo):同軸8/26
過程壓力:典型值0.1 mbar - 1 mbar
等離子體密度:在2450MHz時高達(dá)1012/ cm3
典型的過程氣體:ArO 2,N 2 H 2,NH 3,SiH 4,HMDSO
電子溫度:~2eV
同質(zhì)性:優(yōu)于5%
材料:
腔室:鋁
氣體噴淋:鋁
等離子體源:石英,AL2O3
冷卻:水/空氣合并
連接器:
同軸8/26(微波)
接頭套管(水,空氣,氣體)
尺寸:客戶特定
MW電源元件
MUEGGE短路活塞MW2009D-260ED