WASCO真空傳感器Barracuda

Wasco的Barracuda系列高純度(UHP)傳感器專為在苛刻的市場(chǎng)應(yīng)用中需要檢測(cè)腐蝕性介質(zhì)的應(yīng)用而設(shè)計(jì)。這些傳感器非常適合檢測(cè)氣體或液體介質(zhì)，而不會(huì)對(duì)過(guò)程介質(zhì)造成污染。該系列非常適合要求在高精度、嚴(yán)格公差應(yīng)用中檢測(cè)腐蝕性介質(zhì)的系統(tǒng)。

我們?yōu)橄乱淮雽?dǎo)體加工設(shè)備中的高腐蝕性環(huán)境設(shè)計(jì)了這些傳感器。梭魚(yú)系列的額定應(yīng)用周期超過(guò)10，000，000。梭魚(yú)擁有滿足或超過(guò)SEMI F20 (UHP)的材料，臨界點(diǎn)蝕溫度性能> 35℃。所有傳感器都經(jīng)過(guò)氦泄漏測(cè)試，達(dá)到每SEMI F1≤1 x 10-9標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/秒氦。

煤氣箱

IGS氣體面板

氣體分配系統(tǒng)

閥門(mén)歧管箱

蝕刻和沉積系統(tǒng)