VPM-17 TriCAP ATM 傳感器為廣泛的真空應(yīng)用建立了一體化測量解決方案的新標(biāo)準(zhǔn)。與其他真空計不同的是,它結(jié)合皮拉尼熱損耗測量(低至 1E-6 mbar),提供從 5.0E-3 到 1333 mbar 的高性價比氣體獨(dú)立測量。在氣體成分或類型可能發(fā)生變化的真空應(yīng)用中,傳統(tǒng)的依賴氣體的皮拉尼真空計會導(dǎo)致測量結(jié)果與實(shí)際壓力產(chǎn)生偏差。然而,TriCAP ATM 傳感器采用了電容式膜片真空計 (CDG) 傳感器,由于不依賴于氣體成分,因此即使氣體性質(zhì)發(fā)生變化,也能確保測量精度。集成的熱損耗 MEMS Pirani 傳感器將測量范圍擴(kuò)展至 1E-6 mbar,并提供新穎的電容式壓力計自動調(diào)零功能,從而減免了傳統(tǒng)電容式膜片真空計手動調(diào)零的常見需求。TriCAP ATM 是一款新型多傳感器真空計,是傳統(tǒng)皮拉尼真空計應(yīng)用的性能升級之選,也是在單獨(dú)使用電容式壓力計和皮拉尼真空計的應(yīng)用中成本優(yōu)化的一體化解決方案。
測量范圍為 1×10-6 至 1333 mbar(7.5×10-7 至 1000 托)
與氣體無關(guān)的傳感器,測量范圍從 5×10-3 到 1333 mbar
超寬量程高性能 MEMS 皮拉尼傳感器
堅固耐用的陶瓷電容隔膜真空計
環(huán)境壓力參考輸出信號
大氣開關(guān)功能
可安裝在任何方向而不影響性能
可編程電壓輸出信號,可與其他供應(yīng)商仿真
數(shù)字 RS-232 或 RS-485 接口
用于真空過程控制的三個固態(tài)設(shè)定點(diǎn)
可直接替換 MKS 901P Loadlock 傳感器
緊湊型多傳感器解決方案
1 RS-232 發(fā)送 / RS-485 (-)
2 RS-232 接收 / RS-485 (+)
3 電源電壓 12-30 VDC
4 電源電壓 -(返回)
5 模擬電壓信號 +
6 模擬電壓信號 - (返回)
7 繼電器 1 NO(常開觸點(diǎn))
8 繼電器 1 通用
9 繼電器 1 NC(常閉觸點(diǎn))
10 繼電器 2 NC(常閉觸點(diǎn))
11 繼電器 2 共用
12 繼電器 2 NO(常開觸點(diǎn))
13 繼電器 3 NC(常閉觸點(diǎn))
14 繼電器 3 共用
15 繼電器 3 NO(常開觸點(diǎn))
編程設(shè)備
RS-232 轉(zhuǎn) USB,15 針 HD D-sub,電源(90-230VAC)PRG-WPRS2-15DS-01
RS-485 轉(zhuǎn) USB,15 針 HD D-sub,電源(90-230VAC) PRG-WPRS4-15DS-01
RS-232 USB 編程器,1.5 米電纜 PRG-RS232-DS15 RS-232
RS-485 USB 編程器,1.5 米電纜 PRG-RS485-DS15 RS-485
校準(zhǔn)證書
DAkkS 實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可的校準(zhǔn)證書。cal-vpm17-dakss
電纜
15 針 HD D-sub 母頭至 15 針 D-sub 公頭,帶 3 m 電纜 CAB-F15DSM15DS-003
15 針 HD D-sub 母頭轉(zhuǎn) 15 針 D-sub 公頭,帶 5 米電纜 CAB-F15DSM15DS-005
15 針 HD D-sub 母頭轉(zhuǎn) 15 針 D-sub 公頭,帶 10 m 電纜 CAB-F15DSM15DS-0105
產(chǎn)地:丹麥
測量范圍:1×10-6 至 1333 mbar(7.5×10-7 至 1000 托)
測量原理 1×10-6 至 1×10-3 mbar:MEMS 皮拉尼熱導(dǎo)率
測量原理 1×10-3 至 4.99×10-3 mbar:MEMS 皮拉尼/CDG 混合讀數(shù)
測量原理 5.0×10-3 至 3.99 mbar:電容式隔膜真空計 (CDG)
測量原理 4 至 6 mbar:混合 MEMS 壓電/CDG
測量原理 6 至 1333 mbar:MEMS 壓電電阻膜片
精度 1×10-5 至 9.99×10-5 mbar:讀數(shù)的 25 %
精度 1×10-4 至 9.99×10-3 mbar:讀數(shù)的 5 %
精度 1E-2 至 800 mbar:讀數(shù)的 0.5 %
精度 800 至 1099 mbar:讀數(shù)的 0.25 %
精度 1100 至 1200 mbar:讀數(shù)的 0.5 %
氣壓測量范圍:300 至 1200 mbar
氣壓精度:+/- 0.5 mbar
大氣參考壓力輸出范圍:-1333 至 + 1333 mbar
真空溫度傳感器范圍:-20 至 + 85 ℃
真空溫度傳感器精度:+/- 1.5 ℃
傳感器溫度傳感器范圍:-20 至 + 85 ℃
傳感器溫度傳感器精度:+/- 1.5 ℃
模擬輸出分辨率:16 位 (150 µV)
模擬輸出更新率:124 Hz
響應(yīng)時間:< 20 ms
溫度補(bǔ)償:+10 至 +50 ℃
固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍(Abs值):5×10-6 至 1333 mbar(3.75×10-6 至 1000 托)
固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍(相對大氣壓):-1,100 至 + 500 mbar(-770 至 +375 托)
固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值:50 V、100 mArms / mADC
固態(tài)繼電器觸點(diǎn)耐久性:無限制(無機(jī)械磨損)
固態(tài)繼電器認(rèn)證:UL 認(rèn)可: 文件 E76270;CSA 認(rèn)證: 證書 1175739;EN/IEC 60950-1 認(rèn)證
工作環(huán)境溫度:-20 至 +50 ℃
介質(zhì)溫度:-20 至 +50 ℃
存儲環(huán)境溫度:-20 至 +80 ℃
烘烤溫度(非工作):+80 ℃
Max介質(zhì)壓力:4 bar壓力Abs
安裝位置:任意
防護(hù)等級,EN 60529/A2:2013:IP40
濕度,IEC 68-2-38:98 %,無冷凝
電源電壓:12 至 30 VDC
功耗:350 mW(Max值)
反限性保護(hù):是
過壓保護(hù):是
內(nèi)部保險絲:100 mA(可熱恢復(fù))
外殼:SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061
真空工藝法蘭(介質(zhì)潤濕):SS 1.4307 / AISI 304L
工藝泄漏密封性:<1-10-9 mbar-l/s
符合認(rèn)證CE:EMC 指令 2014/30/EU
符合 RoHS:歐盟指令 2015/863
PVD 涂層、凍干終點(diǎn)檢測、負(fù)載鎖定控制、熔爐熱處理、皮拉尼校準(zhǔn)、質(zhì)譜儀、掃描電子顯微鏡