SENS4真空計(jì)VDM-5

VDM-5 傳感器為各種真空應(yīng)用提供了一體化測量解決方案，確立了新的標(biāo)準(zhǔn)。與其他真空計(jì)不同的是，VDM-5 可在 5.0E-3 至 1333 mbar范圍內(nèi)進(jìn)行不依賴于氣體的整體測量，具有很高的性價(jià)比。在氣體成分或類型可能發(fā)生變化的真空應(yīng)用中，傳統(tǒng)的氣體依賴型皮拉尼真空計(jì)會導(dǎo)致測量結(jié)果與實(shí)際壓力存在偏差。VDM-5 傳感器采用電容式膜片真空計(jì) (CDG) 傳感器，減免了對氣體的依賴性，在氣體性質(zhì)發(fā)生變化時(shí)也能提供準(zhǔn)確的測量。集成的熱損耗 MEMS 皮拉尼傳感器將測量范圍擴(kuò)展至 1E-6 mbar，并提供了一種新穎的電容式壓力計(jì)自動(dòng)零點(diǎn)調(diào)整功能，從而減免了傳統(tǒng)電容式膜片壓力計(jì)手動(dòng)零點(diǎn)調(diào)整的常見需求。用戶可對傳感器設(shè)置和參數(shù)進(jìn)行編程，以控制真空系統(tǒng)和應(yīng)用過程參數(shù)。數(shù)字 RS-232 或 RS-485 串行接口可用于診斷、預(yù)測性維護(hù)、服務(wù)、校準(zhǔn)、設(shè)定點(diǎn)配置、模擬輸出縮放，以及獲取實(shí)時(shí)真空壓力測量值，以便在屏幕上進(jìn)行可視化。串行 USB 編程器與免費(fèi)、直觀的配置軟件相結(jié)合，為傳感器編程、實(shí)時(shí)測量和診斷提供了即插即用的解決方案。

測量范圍為 5×10^-3 至 1333 mbar（3.75×10^-3 至 1000 托）

與氣體無關(guān)的隔膜傳感器

陶瓷電容隔膜真空計(jì)和壓電隔膜   

可安裝在任何方向而不影響性能。

可編程電壓輸出信號，可與其他供應(yīng)商仿真

數(shù)字 RS-232 或 RS-485 接口

用于真空過程控制的三個(gè)固態(tài)設(shè)定點(diǎn)

可選配用于侵蝕性環(huán)境的聚對二甲苯傳感器涂層

經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的緊湊型多傳感器解決方案

15 引腳 HD D-sub RS-232 / RS-485引腳說明

1 RS-232 發(fā)送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓信號 +

6 模擬電壓信號 - （返回）

7 繼電器 1 常開觸點(diǎn)

8 繼電器 1 公共端

9 繼電器 1 NC（常閉觸點(diǎn)）

10 繼電器 2 NC（常閉觸點(diǎn)）

11 繼電器 2 共用

12 繼電器 2 常開（常開觸點(diǎn)）

13 繼電器 3 常開（常開觸點(diǎn)）  或模擬輸出 2

14 繼電器 3 共用

15 繼電器 3 常開（常開觸點(diǎn)）

RS-232 / RS-485 轉(zhuǎn) USB 轉(zhuǎn)換器，帶墻插電源

用于 VPM-5 SmartPirani 傳感器的 USB 轉(zhuǎn)串口轉(zhuǎn)換器，帶墻插電源。

部件號 說明

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉(zhuǎn) USB, 15 針 HD D-sub, 電源 (90 至 230 VAC)

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 轉(zhuǎn) USB, 15 針 HD D-sub, 電源 (90 至 230 VAC)

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉(zhuǎn) USB，9 針 D 型超微，電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB，9 針 D 型超微，電源 (90 至 230 VAC)

產(chǎn)地：丹麥

測量范圍：5×10^-3 至 1333 mbar（3.75×10^-3 至 1000 托）

測量原理 5×10^-3 至 3.99 mbar：電容式隔膜真空計(jì) (CDG)

測量原理 4 至 5 mbar：混合 CDG / 壓電讀數(shù)

測量原理 5 至 1333 mbar：MEMS 壓電電阻膜片

精度 5×10^-2 至 800 mbar：讀數(shù)的 0.5 %

精度 800 至 1099 mbar：讀數(shù)的 0.25 %

精度 1100 至 1200 mbar：讀數(shù)的 0.5 %

精度 100 至 800 mbar：讀數(shù)的 0.5 %

精度 800 至 1099 mbar：讀數(shù)的 0.25 %

精度 1100 至 1200 mbar：讀數(shù)的 0.5 %

磁滯 1×10^-2 至 10 mbar (ISO19685:2017)：1 %

磁滯 10 至 1200 mbar（ISO19685:2017）：0.1 %

真空溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃

真空溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃

傳感器溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃

傳感器溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃

模擬輸出分辨率：16 位 (150 µV)

模擬輸出更新率：124 Hz

響應(yīng)時(shí)間（ISO 19685:2017）：< 20 ms

溫度補(bǔ)償：+10 至 +50 ℃

固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍：5×10^-6 至 1333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 托）

固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值：50 V、100 mArms / mADC

固態(tài)繼電器觸點(diǎn)耐久性：無限制（無機(jī)械磨損）

固態(tài)繼電器認(rèn)證：UL 認(rèn)可： 文件 E76270；CSA 認(rèn)證： 證書 1175739；EN/IEC 60950-1 認(rèn)證

工作環(huán)境溫度：-20 至 +50 ℃

介質(zhì)溫度：-20 至 +50 ℃

存儲環(huán)境溫度：-40 至 +80 ℃

烘烤溫度（非工作）：+80 ℃

Max介質(zhì)壓力_Abs：4 bar

安裝位置：任意

防護(hù)等級，EN 60529/A2:2013：IP 40

濕度，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝

電源電壓：12 至 30 VDC

功耗：240 mW（Max值）

反限性保護(hù)：是

過壓保護(hù)：是

內(nèi)部保險(xiǎn)絲：100 mA（可熱恢復(fù)）

外殼材料：SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

真空處理法蘭（介質(zhì)浸濕）：不銹鋼 1.4401 / AISI 316

真空暴露材料（與介質(zhì)接觸） 標(biāo)準(zhǔn)版本：316 不銹鋼、氟橡膠、硅、玻璃硅石、低放氣環(huán)氧樹脂、焊料、RO4305

真空暴露材料（與介質(zhì)潤濕） 聚對二甲苯保護(hù)型：316 不銹鋼、氟橡膠、聚對二甲苯

真空暴露材料（與介質(zhì)潤濕）陶瓷保護(hù)型：316 不銹鋼、氟橡膠、氧化鋁陶瓷 (AI₂O₃)

工藝泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

CE：EMC 指令 2014/30/EU

符合 RoHS：歐盟指令 2015/863

器械滅菌、半導(dǎo)體加工、PVD 涂層、CVD 加工、分析儀器、真空爐、空間模擬